L'hexaflurorure de xénon est le composé du xénon de formule XeF6. C'est un solide cristallin incolore stable à température ambiante, et le plus énergique des agents fluorants du xénon. On le prépare en chauffant le difluorure de xénon XeF2 à 300 °C sous 6 MPa pendant suffisamment longtemps pour que la concentration d'hexafluorure devienne significative.