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- La scatterométrie est une technique optique basée sur l'analyse de la lumière diffusée par une structure périodique (diffraction) ou non périodique. Le mot scatterométrie est d'ailleurs un néologisme issu de l'anglais scattering signifiant diffusion. La scatterométrie est dite :
* ellipsométrique si l'analyse se rapporte au changement de polarisation de la lumière induit par la diffraction (cf. ellipsométrie);
* réflectométrique si l'analyse se rapporte à l'atténuation du signal lumineux incident (cf. réflectométrie). (fr)
- La scatterométrie est une technique optique basée sur l'analyse de la lumière diffusée par une structure périodique (diffraction) ou non périodique. Le mot scatterométrie est d'ailleurs un néologisme issu de l'anglais scattering signifiant diffusion. La scatterométrie est dite :
* ellipsométrique si l'analyse se rapporte au changement de polarisation de la lumière induit par la diffraction (cf. ellipsométrie);
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- La scatterométrie est une technique optique basée sur l'analyse de la lumière diffusée par une structure périodique (diffraction) ou non périodique. Le mot scatterométrie est d'ailleurs un néologisme issu de l'anglais scattering signifiant diffusion. La scatterométrie est dite :
* ellipsométrique si l'analyse se rapporte au changement de polarisation de la lumière induit par la diffraction (cf. ellipsométrie);
* réflectométrique si l'analyse se rapporte à l'atténuation du signal lumineux incident (cf. réflectométrie). (fr)
- La scatterométrie est une technique optique basée sur l'analyse de la lumière diffusée par une structure périodique (diffraction) ou non périodique. Le mot scatterométrie est d'ailleurs un néologisme issu de l'anglais scattering signifiant diffusion. La scatterométrie est dite :
* ellipsométrique si l'analyse se rapporte au changement de polarisation de la lumière induit par la diffraction (cf. ellipsométrie);
* réflectométrique si l'analyse se rapporte à l'atténuation du signal lumineux incident (cf. réflectométrie). (fr)
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- Scatterométrie (fr)
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