About: dbpedia-fr:Dépôt_chimique_en_phase_vapeur_assisté_par

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: dbpedia-fr:Dépôt_chimique_en_phase_vapeur_assisté_par_plasma Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : owl:Thing, within Data Space : fr.dbpedia.org associated with source document(s)

Attributes	Values
rdfs:comment	Le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (ou PECVD, pour Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition en anglais) est un procédé utilisé pour déposer des couches minces sur un substrat à partir d'un état gazeux (vapeur). Des réactions chimiques se déroulent au cours du processus après la formation d'un plasma à partir des gaz du réacteur. Le plasma est généralement créé à partir de ce gaz par une décharge électrique pouvant être générée à partir de sources radio-fréquences (13,56 MHz), micro-ondes (2,45 GHz) ou par une décharge électrique continue entre deux électrodes. (fr)
dbo:wikiPageWikiLink	category-fr:Dépôt_sous_vide_de_couches_minces Xenon Nitrogen category-fr:Microélectronique Thin film dbpedia-fr:Diélectrique dbpedia-fr:Dépôt_chimique_en_phase_vapeur Gas dbpedia-fr:Hertz Hydrogen dbpedia-fr:Ionisation Silicon nitride dbpedia-fr:Onde_radio dbpedia-fr:Orthosilicate_de_tétraéthyle Oxygen dbpedia-fr:Pulvérisation_cathodique dbpedia-fr:Radical_(chimie) Silane dbpedia-fr:Silanol Electrode Electron Electronvolt Plasma (physics) Microwave dbpedia-fr:Millimètre_de_mercure
is dbo:wikiPageWikiLink of	dbpedia-fr:Carbure_de_zirconium Solar cell Thin film Ultra-high-temperature ceramics dbpedia-fr:Décaborane dbpedia-fr:Dépôt_chimique_en_phase_vapeur dbpedia-fr:Dépôt_de_couche_mince dbpedia-fr:Hexaméthyldisiloxane dbpedia-fr:Isolateur_numérique dbpedia-fr:Liste_de_sigles_de_cinq_caractères Boron nitride Silicon nitride Plasma Silane Binary silicon-hydrogen compounds dbpedia-fr:Triméthylsilane Silicon tetrafluoride dbpedia-fr:PECVD dbpedia-fr:Plasma_Enhanced_Chemical_Vapor_Deposition

Faceted Search & Find service v1.16.111 as of Oct 19 2022

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3234 as of May 18 2022, on Linux (x86_64-ubuntu_bionic-linux-gnu), Single-Server Edition (39 GB total memory, 14 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software