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Les NEMS pour Nano Electro-Mechanical Systems, en français : Systèmes ÉlectroMécaniques Nanométriques ; on parle aussi de nanosystèmes. Ce sont des dispositifs analogues aux MEMS, mais à l'échelle du nanomètre. On parle de NEMS pour des structures mécaniques miniatures, réalisant des fonctions de capteur ou d'actionneur, dont au moins une des dimensions est de taille nanométrique. Contrairement aux MEMS qui sont développés depuis les années 1970, et utilisés dans des fonctions grand public depuis les années 1990 (micro-accéléromètre pour le déclenchement des coussins gonflables de sécurité (« airbags »), cartouches d'imprimantes à jet d'encre), les NEMS sont une technologie beaucoup plus émergente auxquels les scientifiques commencent à s'intéresser dans les années 2000 et dont aucune application n'est encore sortie des laboratoires. En raison de leur taille, la physique des NEMS est différente de la physique « à l'échelle humaine ». Les forces surfaciques deviennent prédominantes et les phénomènes quantiques de même.Les nanotubes de carbone sont la matière première de nombreuses réalisations de NEMS (nano-moteur, oscillateur ultra haute fréquence).