La spectrométrie de masse à ionisation secondaire est un procédé d'analyse de surface connu sous le nom de SIMS, d'après l'acronyme anglais signifiant secondary ion mass spectrometry, qui consiste à bombarder la surface de l'échantillon à analyser avec un faisceau d'ions. L'échantillon est alors pulvérisé, et une partie de la matière pulvérisée est ionisée.

PropertyValue
dbpedia-owl:abstract
  • La spectrométrie de masse à ionisation secondaire est un procédé d'analyse de surface connu sous le nom de SIMS, d'après l'acronyme anglais signifiant secondary ion mass spectrometry, qui consiste à bombarder la surface de l'échantillon à analyser avec un faisceau d'ions. L'échantillon est alors pulvérisé, et une partie de la matière pulvérisée est ionisée. Ces ions secondaires sont alors accélérés vers un spectromètre de masse qui permettra de mesurer la composition élémentaire, isotopique ou moléculaire de la surface de l'échantillon. Le SIMS est la technique d'analyse de surface la plus sensible, mais présente plus de difficultés dans l'interprétation quantitative précise que d'autres techniques.
  • Secondary ion mass spectrometry (SIMS) is a technique developed in the 1960s by the french company CAMECA S.A.S and used in materials sciences and surface sciences to analyze the composition of solid surfaces and thin films by sputtering the surface of the specimen with a focused primary ion beam and collecting and analyzing ejected secondary ions. The mass/charge ratios of these secondary ions are measured with a mass spectrometer to determine the elemental, isotopic, or molecular composition of the surface to a depth of 1 to 2 nm. Due to the large variation in ionization probabilities among different materials, SIMS is generally considered to be a qualitative technique, although quantitation is possible with the use of standards. SIMS is the most sensitive surface analysis technique, with elemental detection limits ranging from parts per million to parts per billion.
  • Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) ist eine Methode der Oberflächenphysik/Oberflächenchemie und gehört wie Sekundär-Neutralteilchen-Massen-Spektrometrie (SNMS), Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS) und niederenergetische Ionenstreuspektroskopie (LEIS) zu den Ionenstrahltechniken.
  • 二次イオン質量分析法(にじイオンしつりょうぶんせきほう、SIMS; Secondary Ion Mass Spectrometry)とは、質量分析法におけるイオン化方法の種類の一つである。特に固体の表面にビーム状のイオン(一次イオンと呼ばれる)を照射し、そのイオンと固体表面の分子・原子レベルでの衝突によって発生するイオン(二次イオンと呼ばれる)を質量分析計で検出する表面計測法である。非常に高感度であるため、超高真空下で測定しなければならない。目的に応じて質量分析計には、二重収束型、飛行時間型、四重極型などが主に用いられる。特に飛行時間質量分析計(TOF-MS)を用いた場合には、飛行時間二次イオン質量分析法(TOF-SIMS)とも呼ばれる。二次イオン質量分析法の測定モードには、試料を削りながら破壊的に測定するダイナミック・モード(D-SIMS)と、非破壊的に測定するスタティック・モード(S-SIMS)があり、目的に応じて使い分ける。ダイナミック・モードでは一次イオンとして通常酸素とセシウムを適時使い分ける。これは一次イオンが試料表面にもたらす、二次イオン発生効率を高める物理化学的な作用を利用している。(酸素は試料の表面酸化により正の二次イオンを、セシウムは試料の表面仕事函数の低下により負の二次イオンを高める)この効果により、分析室中の残留ガスによってバックグラウンドが高くなる軽元素以外の殆どの元素をppbかpptオーダーに至る検出下限を達成している。二次イオン質量分析法からは組成、化学構造、特定科学種のサブミクロンスケールの分布、深さ方向の分布などに関する情報を得ることができる。
  • Hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů, anglicky Secondary ion mass spectrometry, zkráceně SIMS, je technika sloužící k analýze složení povrchů pevných látek a tenkých vrstev pomocí vyprašováním povrchu bombardujícími ionty a shromažďováním (analyzováním) vyražených sekundárních iontů. Sekundární ionty emitované z povrchu materiálu, pomocí "vyprašovacího" procesu, se používající k analýze chemického složení materiálu. Tyto částice však představují jen malý zlomek částic emitovaných ze vzorku. Sekundární ionty se měří hmotnostním spektrometrem určující prvkové, izotopové, nebo molekulární složení povrchu. SIMS je jedna z nejcitlivějších analýz povrchů, která je schopna detekovat prvky, i když jsou přítomny řádově jen v nanometrových oblastech. ZZ
  • Масс-спектрометрия вторичных ионов (МСВИ) (англ. Secondary-Ion Mass Spectrometry, SIMS) — метод получения ионов из низколетучих, полярных и термически нестойких соединений в масс-спектрометрии.Первоначально применялся для определения элементного состава низко-летучих веществ, однако впоследствии стал использоваться как десорбционный метод мягкой ионизации органических веществ. Используется для анализа состава твёрдых поверхностей и тонких плёнок. МСВИ — самая чувствительная из техник анализа поверхностей, способная обнаружить присутствие элемента в диапазоне 1 часть на миллиард.
  • La spettrometria di massa di ioni secondari, indicata comunemente con l'acronimo SIMS, dall'inglese secondary ion mass spectrometry è una tecnica di spettrometria di massa utilizzata per la caratterizzazione di superfici. Consiste nel bombardare il campione con un fascio di ioni (detti ioni primari) ed analizzare gli ioni prodotti dal bombardamento (ioni secondari). La tecnica SIMS garantisce un'altissima sensibilità nel rilevare sostanze presenti in traccia (ppm-ppb) e un'eccellente risoluzione in profondità (3÷10 nm).
dbpedia-owl:thumbnail
dbpedia-owl:wikiPageExternalLink
dbpedia-owl:wikiPageID
  • 420749 (xsd:integer)
dbpedia-owl:wikiPageLength
  • 6176 (xsd:integer)
dbpedia-owl:wikiPageOutDegree
  • 21 (xsd:integer)
dbpedia-owl:wikiPageRevisionID
  • 101315526 (xsd:integer)
dbpedia-owl:wikiPageWikiLink
prop-fr:wikiPageUsesTemplate
dcterms:subject
rdfs:comment
  • La spectrométrie de masse à ionisation secondaire est un procédé d'analyse de surface connu sous le nom de SIMS, d'après l'acronyme anglais signifiant secondary ion mass spectrometry, qui consiste à bombarder la surface de l'échantillon à analyser avec un faisceau d'ions. L'échantillon est alors pulvérisé, et une partie de la matière pulvérisée est ionisée.
  • Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) ist eine Methode der Oberflächenphysik/Oberflächenchemie und gehört wie Sekundär-Neutralteilchen-Massen-Spektrometrie (SNMS), Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS) und niederenergetische Ionenstreuspektroskopie (LEIS) zu den Ionenstrahltechniken.
  • 二次イオン質量分析法(にじイオンしつりょうぶんせきほう、SIMS; Secondary Ion Mass Spectrometry)とは、質量分析法におけるイオン化方法の種類の一つである。特に固体の表面にビーム状のイオン(一次イオンと呼ばれる)を照射し、そのイオンと固体表面の分子・原子レベルでの衝突によって発生するイオン(二次イオンと呼ばれる)を質量分析計で検出する表面計測法である。非常に高感度であるため、超高真空下で測定しなければならない。目的に応じて質量分析計には、二重収束型、飛行時間型、四重極型などが主に用いられる。特に飛行時間質量分析計(TOF-MS)を用いた場合には、飛行時間二次イオン質量分析法(TOF-SIMS)とも呼ばれる。二次イオン質量分析法の測定モードには、試料を削りながら破壊的に測定するダイナミック・モード(D-SIMS)と、非破壊的に測定するスタティック・モード(S-SIMS)があり、目的に応じて使い分ける。ダイナミック・モードでは一次イオンとして通常酸素とセシウムを適時使い分ける。これは一次イオンが試料表面にもたらす、二次イオン発生効率を高める物理化学的な作用を利用している。(酸素は試料の表面酸化により正の二次イオンを、セシウムは試料の表面仕事函数の低下により負の二次イオンを高める)この効果により、分析室中の残留ガスによってバックグラウンドが高くなる軽元素以外の殆どの元素をppbかpptオーダーに至る検出下限を達成している。二次イオン質量分析法からは組成、化学構造、特定科学種のサブミクロンスケールの分布、深さ方向の分布などに関する情報を得ることができる。
  • Масс-спектрометрия вторичных ионов (МСВИ) (англ. Secondary-Ion Mass Spectrometry, SIMS) — метод получения ионов из низколетучих, полярных и термически нестойких соединений в масс-спектрометрии.Первоначально применялся для определения элементного состава низко-летучих веществ, однако впоследствии стал использоваться как десорбционный метод мягкой ионизации органических веществ. Используется для анализа состава твёрдых поверхностей и тонких плёнок.
  • Secondary ion mass spectrometry (SIMS) is a technique developed in the 1960s by the french company CAMECA S.A.S and used in materials sciences and surface sciences to analyze the composition of solid surfaces and thin films by sputtering the surface of the specimen with a focused primary ion beam and collecting and analyzing ejected secondary ions.
  • La spettrometria di massa di ioni secondari, indicata comunemente con l'acronimo SIMS, dall'inglese secondary ion mass spectrometry è una tecnica di spettrometria di massa utilizzata per la caratterizzazione di superfici. Consiste nel bombardare il campione con un fascio di ioni (detti ioni primari) ed analizzare gli ioni prodotti dal bombardamento (ioni secondari).
  • Hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů, anglicky Secondary ion mass spectrometry, zkráceně SIMS, je technika sloužící k analýze složení povrchů pevných látek a tenkých vrstev pomocí vyprašováním povrchu bombardujícími ionty a shromažďováním (analyzováním) vyražených sekundárních iontů. Sekundární ionty emitované z povrchu materiálu, pomocí "vyprašovacího" procesu, se používající k analýze chemického složení materiálu.
rdfs:label
  • Spectrométrie de masse à ionisation secondaire
  • Hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů
  • Secondary ion mass spectrometry
  • Sekundärionen-Massenspektrometrie
  • Spettrometria di massa di ioni secondari
  • ToF-SIMS
  • Масс-спектрометрия вторичных ионов
  • 二次イオン質量分析法
owl:sameAs
http://www.w3.org/ns/prov#wasDerivedFrom
foaf:depiction
foaf:isPrimaryTopicOf
is dbpedia-owl:wikiPageRedirects of
is dbpedia-owl:wikiPageWikiLink of
is foaf:primaryTopic of